Как проектируют помещений в микроэлектронной промышленности с соблюдением чистоты

Рождение и детские годы чистых помещений пришлись на период Второй Мировой войны, что обусловлено бурным развитием оборонной науки и интенсивным ведением военных действий. Концепция и технология проектирования созрели в медицинской и фармацевтической областях. Юность чистых помещений совпала с периодом гонки в космосе и, наконец, зрелость наступила в ответ на вызов промышленности страны Лил- липутии - мира микроэлектроники, где частицы микронного размера подобны глыбам величиной с автомобиль, а загрязнения в количестве одна часть на триллион могут стать критическими.
Требования к пространству, в котором должны быть обеспечены почти идеальные условия, необходимые технологическим процессам мира микроэлектроники, были и остаются очень жесткими. Высочайшее качество изделий, постоянная борьба за повышение производительности требуют точного контроля и координации между технологическим оборудованием, инженерным обеспечением и организацией работ, и все это базируется на точном соблюдении параметров окружающего пространства, основывающимся в свою очередь на современных технологиях чистых помещений.
Комплекс инженерных решений по контролю и управлению чистотой, охватывающий оборудование, материалы и профессиональное мастерство персонала, стал настолько совершенным, что загрязнения в технологических системах и в рабочем пространстве не являются больше ограничительным фактором для производства. Но если это так, то в чем же сложности при проектировании чистых помещений для микроэлектроники? Очевидно, что цель чистых помещений - обеспечить отсутствие загрязнений в том пространстве, где производится чистый продукт. Следовательно, соблюдение утвержденных процедур должно привести к желаемому результату, но загрязнения имеют свойство появляться неожиданно, и не всегда их источник очевиден.
Чистые помещения, технологический процесс, оборудование и средства управления - все это в равной степени может быть источником загрязнений. В те времена, когда технология была еще юной, первым - и часто оправданным - предположением в таких случаях был вывод о неисправности всего комплекса чистого помещения. Современные чистые помещения соответствуют значительно более высоким требованиям и оснащены системами управления и контроля, позволяющими быстро получить информацию о параметрах помещения. С их помощью можно поэтапно проверить всю технологию, технологическое оборудование и весь производственный процесс.
Границы области контроля и защиты от загрязнений значительно расширились, и теперь для того, чтобы считаться специалистом в области контроля загрязнений, необходимо принимать участие в решении сложных проблем смежных областей (и нести полную ответственность за последствия этих решений), участвовать в оценке работы оборудования, в обучении персонала методам защиты от загрязнений, а также вникать в другие бесчисленные вопросы тотального контроля загрязнений.