Воздушный поток - направление и количество движения воздуха

В большинстве случаев для обеспечения максимальной защиты продукта от загрязнений воздушный поток должен быть направлен вертикально вниз и соответствовать уровню чистоты помещений класса ИСО 3 (класса 1) или более высокого уровня чистоты, если это диктуется требованиями, которые предъявляются к продукту. Безусловно, подобный вертикальный поток воздуха невозможно создать в реакторе, диффузионной печи или испарителе. В этих специальных случаях стараются применить добавочные фильтро-вентиляционные установки. Такие индивидуальные решения должны приниматься только после тщательной проверки и испытаний.
Некоторые специальные камеры (зоны) для технологического оборудования, в которых организован горизонтальный или под углом 45° поток воздуха, вполне успешно защищают изделия от частиц. Такое решение, если оно применимо, вполне допустимо и заслуживает внимания.
В чистых помещениях класса ИСО 3 (класс 1) или более высокого уровня чистоты должны использоваться ULPA-фильтры с эффективностью 99,9995% по частицам 0,1 мкм, проверенные при изготовлении, протестированные и аттестованные после установки.
Для обеспечения максимальной гибкости при монтаже и упрощения проектирования (сокращения номенклатуры изделий), а также, учитывая небольшую разницу в цене между фильтрами с эффективностью 99,00% и 99,9995%, рекомендуется использовать фильтры одной - самой высокой - эффективности для финишной очистки по всему чистому помещению. Их можно устанавливать без какой-либо защиты (сетки или решетки) снизу, со стороны выхода воздуха. Регулирование количества проходящего воздуха производят с помощью внутренней или входной заслонки.
Поток воздуха, выходящий из чистого помещения через перфорированный фальшпол, регулируется встроенными заслонками. Финишное покрытие плит фальшпола должно быть выполнено из электропроводящего листового материала и ламинироваться (приклеиваться) на плиты при высоком давлении, а вся система пола должна быть заземлена. Полы в чистом помещении класса ИСО 3-5 (классы 1 - 100) выполняются со 100% -ной перфорацией, а для чистых помещений класса ИСО 6 и 7 (1 000 и 10 000) требуется не более 50% перфорированной площади. Для установки тяжелого оборудования иногда могут потребоваться очень прочные плиты фальшпола (кроме того, в таких плитах гораздо легче прорезать отверстия для труб и т. п.).
Приемлемым альтернативным решением при проектировании воздушных потоков в чистых помещениях класса ИСО 6 и 7 (1 000 и 10 000) является использование классической турбулентной вентиляции с возвратом воздуха через отверстия в стенах и перегородках, расположенных близко к уровню пола. Создаст ли это трудности для прокладки воздуховодов рециркуляционного воздуха или нет, зависит от проектировщика. При такой схеме возникает вероятность некоторого отклонения потока от вертикали вблизи пола.
Реконструкция такой турбулентной системы до уровня чистоты, соответствующего классу ИСО 3-5 (класс 1 - 100) или более высокого уровня чистоты потребует длительной остановки и комплексной ревизии потоков на всей площади чистого помещения; при использовании вертикального однонаправленного потока такая модернизация проводится легко и быстро.

Для обеспечения чистоты воздуха, удовлетворяющей условиям классов ИСО 3-5 (1 - 100), скорость воздушного потока через соответствующую зону должна быть от 0,3 до 0,5 м/с. Важно очень внимательно отнестись к определению величины потока через критическую зону загрузки-выгрузки в оборудование. Известны случаи, когда уменьшение скорости воздушного потока приводило к существенному снижению концентрации загрязняющих частиц или к уменьшению влияния воздушного потока на оборудование (его охлаждение).
При проектировании чистых помещений классов ИСО 6, 7 и 8 (1 000, 10 000 и 100 000) следует использовать величины средней скорости воздуха 0,25; 0,15 и 0,09 м/с. Первичное управление скоростью потока воздуха достигается выбором количества перфорированных плит фальшпола, которое должно быть эквивалентно количеству фильтров, установленных на потолке. После пуска чистого помещения тонкая регулировка воздушного потока через фильтры и пол осуществляется с помощью заслонок