Высокоэффективная фильтрация воздуха

Для того чтобы гарантировать удаление из подаваемого в чистое помещение воздуха частиц, которые могут загрязнить продукцию, воздух должен фильтроваться. До начала 80-х годов для фильтрации воздуха в чистых помещениях применялись HEPA (High Efficiency Particulate Air) фильтры, т. к. на тот момент они были наиболее эффективными из коммерчески доступных фильтров. В настоящее время НЕРА-фильтры все еще используются в большинстве чистых помещений, однако потребности одной из отраслей современного производства интегральных схем достигли уровня, требующего применения более эффективных фильтров. Такие фильтры получили название ULPA (Ultra Low Penetration Air) фильтров.
Высокоэффективные фильтры, которые используются в чистых помещениях, выполняют двойную функцию: они удаляют из воздуха мелкие частицы и - в помещениях с однонаправленным потоком воздуха - формируют воздушный поток. Расположение высокоэффективных фильтров и расстояние между ними, также как и величина скорости воздуха, оказывают влияние как на концентрацию взвешенных в воздухе частиц, так и на формирование застойных зон, аккумулирующих аэрозоли, и непредусмотренных путей миграции частиц по всему чистому помещению. Сочетание вентилятора и высокоэффективного фильтра является лишь начальным условием формирования однонаправленного потока воздуха. Для того чтобы обеспечить действительно качественный однонаправленный воздушный поток, необходим правильный баланс всех его составляющих.
Несмотря на то, что различные стандарты по чистым помещениям определяют класс чистоты только исходя из концентрации взвешенных в воздухе частиц (например, класс ИСО 6 или класс 1000), для достижения требуемого уровня чистоты в различных отраслях промышленности используются различные сочетания НЕРА и ULPA-фильтров. Основными отраслями, широко использующими чистые помещения, являются производство полупроводников и фармацевтическая промышленность, хотя в последнее время к этому списку можно добавить биотехнологию, производство медицинских изделий, пищевую промышленность, производство жестких дисков и некоторые другие отрасли.
В полупроводниковой промышленности при производстве изделий с субмикронной геометрией применяются ULPA-фильтры, в то время как для фильтрации микроорганизмов и инертных частиц в чистых помещениях фармацевтической и некоторых других отраслей достаточно использовать НЕРА-фильтры.
Принято считать, что в чистых помещениях класса ИСО 6 (класс 1000) или менее чистых для достижения соответствующего уровня очистки достаточно использовать НЕРА-фильтры в сочетании с обычной (турбулентной) вентиляцией, например, вполне приемлемо установить их на входе воздушного потока в помещение или в воздуховоде приточной вентиляции. В чистых помещениях класса ИСО 5 (класс 100) НЕРА-фильтры устанавливаются по всей площади потолка для создания однонаправленного вертикального воздушного потока через чистое помещение. В помещениях класса ИСО 4 (класс 10) и более чистых для создания однонаправленного воздушного потока следует использовать ULPA-фильтры.