Величина локальной протечки через точечный дефект в фильтрующем материале возрастает при снижении скорости воздуха, поскольку сопротивление потоку воздуха через точечный дефект пропорционально квадрату скорости воздуха, а сопротивление при прохождении воздуха через фильтрующий материал близко к линейной функции. Таким образом, если поток воздуха составляет 20% от номинальной величины, протечки через точечные дефекты должны быть примерно в 25 раз больше (в процентном отношении к общему потоку), чем в случае номинального потока.
Высокоэффективный фильтр, покидающий пределы завода, где он был изготовлен и прошел испытания, имеет характеристики, соответствующие своему назначению. Если он был правильно упакован и транспортирован и если монтаж на месте проводился квалифицированным специалистом, имеющим опыт работы с легко повреждаемым фильтрующим материалом, то неизменность характеристик фильтра сохраняется.
Такой механизм обычно устанавливается в воздуховодах приточной вентиляции. В данном случае он дополнительно снабжен острой кромкой, которая сопряжена с каналом на корпусе фильтра. Кромка погружается в жидкий герметик, обеспечивая идеальную изоляцию, при этом герметик не вытекает из канала наружу. Утечка воздуха через такое уплотнение невозможна.
Фильтр снабжен по периметру каналом для жидкого герметика и устанавливается со стороны чистого помещения. Эта система предназначена для чистых помещений с однонаправленным воздушным потоком.
Для того чтобы гарантировать удаление из подаваемого в чистое помещение воздуха частиц, которые могут загрязнить продукцию, воздух должен фильтроваться. До начала 80-х годов для фильтрации воздуха в чистых помещениях применялись HEPA (High Efficiency Particulate Air) фильтры, т. к. на тот момент они были наиболее эффективными из коммерчески доступных фильтров. В настоящее время НЕРА-фильтры все еще используются в большинстве чистых помещений, однако потребности одной из отраслей современного производства интегральных схем достигли уровня, требующего применения более эффективных фильтров.
Международный институт окружающей среды и технологий (IEST) разработал «Практические рекомендации по определению характеристик ULPA-фильтров» (IEST-RP-CC-007). В них для определения эффективности ULPA-фильтров рекомендуется использовать лазерный счетчик частиц, который удобен в работе и с высокой точностью и воспроизводимостью способен измерять концентрацию и размеры аэрозольных частиц с диаметром менее 0,3 мкм. В случае необходимости расширить диапазон измеряемых размеров в область меньших диаметров частиц можно использовать счетчик ядер конденсации (condensation nuclei counter - CNC).
В этом европейском стандарте для испытания НЕРА-фильтров используются частицы хлористого натрия в диапазоне размеров от 0,02 мкм до 2 мкм с массовым медианным диаметром 0,6 мкм.