Материалы для изготовления воздушн. шахт, фильтровальный подвесной потолок

Большинство операций из этого перечня проводятся в обычных заводских условиях. Защита от загрязнений обеспечивается по большей части тем, что процесс проводится внутри изолированных зон. Подготовка шихты для вытягивания кристалла методом Чохральского, так же как очистка тигля, должны проводиться в чистом помещении с контролируемым уровнем чистоты - минимум класса ИСО 5 (класс 100). Любое загрязнение, появляющееся на этом этапе, попадет в слиток и станет причиной сбоя в процессе выращивания монокристалла или причиной появления нежелательных электрических свойств пластины.
Последняя часть процесса также требует чистой контролируемой среды (минимум ИСО 5), чтобы оборудование могло обеспечить требуемые уровень чистоты поверхности, толщину, конусность и плоскостность. Большое внимание должно быть уделено и защите от попадания на поверхность подвижных ионов или легирующих добавок. Высокие температуры, присущие процессам дальнейшей обработки пластин, способствуют внедрению этих элементов внутрь кристаллической структуры и нарушению заданных электрических свойств.
Представленное здесь описание полного технологического процесса значительно упрощено, в нем полностью опущены многочисленные испытания, этапы очистки и настройки, необходимые для того, чтобы получить требуемую степень чистоты, размеры кристалла, его ориентацию, равномерность и объем заданных электрических свойств. Кроме того, в таблице рассмотрено использование в качестве полупроводникового материала только кремния.
К числу других материалов, используемых сегодня, относятся полиметаллические полупроводники, кремний (или другой полупроводник), нанесенный на стекло, сапфир, алмаз и т. д. Производство этих материалов не отрицает требований по соблюдению чистоты. Напротив, подобное усложнение процесса обычно приводит к появлению дополнительных механизмов внесения загрязнений, которые наносят ущерб качеству и функциональным свойствам, что, как правило, приводит к более жестким требованиям по соблюдению чистоты.

Независимо от того, используется ли в чистом помещении система подачи воздуха с камерой избыточного давления или воздуховоды с фильтрами, объединение фильтров, глухих панелей и светильников в стабильную, без протечек, унифицированную систему зависит от герметичности всей конструкции.
Из всех достижений в этой области наибольшее доверие заслуживает жидкостное или гелевое уплотнение, реализация которого возможна в нескольких вариантах. Надлежащим образом установленное и проверенное уплотнение такого типа не станет источником неприятностей. Элементы подвесного потолка заполняются гелем, в который входит острая кромка корпуса фильтра.